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HfO2 铁电薄膜具有显著的唤醒效应，启动这种现象与电场作用下多晶膜内部相变、缺陷重新分布、以及极化电荷注入均有关系。当超过某个浓度，申报P42/nmc相（反铁电相）占主导，见图2（b）。

在外延薄膜中，有规铁电相可以通过薄膜与衬底的外延晶格失配应力稳定。图6  HZO外延膜结构及薄膜与衬底LSMO/STO的外延取向关系 ©2022TheAuthors表2. 多晶和外延HfO2薄膜铁电性能对比 ©2022TheAuthors五、可依【成果启示】最后，可依作者展望了HfO2铁电薄膜研究中仍存在的科学问题。